Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

• 作者: 姜守振 徐现刚 李娟 李现祥 王丽 王继扬 胡小波 董捷 蒋民华
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 化学
• 关键词: 显微激光Raman光谱 X射线摇摆曲线 SiC单晶 多型鉴定
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 功能材料分析、检测、评价技术
• 页码范围: 3400-3404
• 页数: 5页
• 分类号: O657.37|O782.9
• 字数: 3475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.954

摘要

利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.