轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工

• 作者: 伍凡 吴时彬 徐清兰 王家金
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 轻质平面反射镜 光学加工 粗糙度 抛光 面形精度
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造与加工
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TB851|TQ171.684
• 字数: 2441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.09.006

摘要

介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程.详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为0.011λ(PV值为0.071λ,λ=632.8nm),表面粗糙度RMS达0.75nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	徐清兰	中国科学院光电技术研究所	7	66	3.0	7.0
4	王家金	中国科学院光电技术研究所	2	47	2.0	2.0