干式真空泵的优化选择

• 作者: 谌乾坤
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 圆裂片 爪 罗茨 螺杆
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 生产技术
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 2234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2004.07.017

摘要

本文介绍在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谌乾坤		3	0	0.0	0.0