集成光电传感器的研究

• 作者: 周肇飞 张涛 黄伟
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电传感器 传感器集成 粗糙度 微位移 微观轮廓
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 595-597
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.06.028

摘要

为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能.通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学激光应用研究所	178	773	14.0	19.0
2	黄伟	四川大学激光应用研究所	71	294	11.0	14.0
3	周肇飞	四川大学激光应用研究所	37	432	12.0	20.0