控制光具尺寸变化

• 作者: EricJanssens 李明
• 来源期刊: 印制电路资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 光具 尺寸变化 相对湿度 温度 机械应力 动力学 阻焊底片
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 2-4
• 页数: 3页
• 分类号: TN405

摘要

理想的光具(底片)是经过精细设计，通过所采用的CAD／CAM先进系统，光绘系统和所应用的高分辩的光致抗蚀剂，进而转移至铜的表面或用于阻焊底片(光具)等作业工序，光具没有发生任何变形。但从实际应用上，理想的光具(底片)是不存在的。它将会受到各种因素的直接或简接的影响。