提高码盘、圆光栅均匀性的研究

• 作者: 张红胜 赵兴国 陈赟
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 码盘 圆光栅 均匀性
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 字数: 2541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2004.12.005

摘要

随着科技的发展,对码盘、圆光栅的线条数、均匀性要求越来越高,本文着重对码盘、圆光栅刻制中出现的均匀性问题进行分析,找出影响码盘、圆光栅均匀性的主要因素,提出了相应的改进措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈赟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	585	12.0	23.0
2	赵兴国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	33	3.0	4.0
3	张红胜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	137	6.0	11.0