实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Co-Cu合金薄膜 离子束辅助沉积 入射角度 织构 易磁化
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 17-19,27
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+3|O441.2
• 字数: 2628字
• 语种: 中文

摘要

从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.