一种基于温差测量原理工作的集成型流量传感器

• 作者: 严晓浪 吴晓波 赵梦恋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低速流体 流量传感器 集成电路 温度差
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: TN453
• 字数: 3762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.01.026

摘要

在比较已有的几种低流速流体的流速流量测量方法基础上,提出一种利用与流速相关温差的测量方案,并用芯片集成方法构成流量传感器加以验证,实验结果与理论预期基本相符.该传感器的主要优点是在低流量条件下具有高灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓波	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	328	6672	45.0	70.0
2	严晓浪	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	246	1634	19.0	29.0
3	赵梦恋	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	34	242	10.0	14.0