激光等离子体和气体放电EUV光刻光源

• 作者: 李思宁 王骐 程元丽
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外光刻 EUV光刻光源 激光等离子体 气体放电
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 561-564
• 页数: 4页
• 分类号: O434.19
• 字数: 3672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.06.001

摘要

对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题,对各种方案的特点、技术参数进行了对比.气体放电装置较高能激光装置结构简单、价格低,故气体放电EUV光源日益受到重视.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王骐	哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室	256	2059	22.0	32.0
2	程元丽	哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室	25	98	6.0	7.0
3	李思宁	哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室	16	82	5.0	9.0