采用空间光调制器的光变图像光刻系统

• 作者: 汪振华 沈雁 解剑锋 邵洁 陆志伟 陈林森
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 3D图像 干涉 光学头 空间光调制器(SLM)
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 561-564
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|O438.1
• 字数: 3437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.05.014

摘要

用激光干涉型光学头产生干涉条纹,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻,分辨率可达5 080 dpi,平均运行效率达8 000 dots/s(1 270 pdpi)以上.研制了大幅面激光光刻系统,给出了实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	解剑锋	苏州大学信息光学工程研究所	7	71	6.0	7.0
3	沈雁	苏州大学信息光学工程研究所	12	113	7.0	10.0
4	陆志伟	苏州大学信息光学工程研究所	8	75	6.0	8.0
5	邵洁	苏州大学信息光学工程研究所	10	149	8.0	10.0
6	汪振华	苏州大学信息光学工程研究所	9	87	6.0	9.0