具有横向加速度补偿功能的硅微型加速度计

• 作者: B39 W02
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式加速度计 硅 工作原理 横向加速度补偿功能 灵敏度 检测质量
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.4

摘要

本文介绍一种量程为100g的压阻式加速度计，用硅材料制作，适于批量生产。这种新型加速度计的工作原理与原有的加速度计有所不同，检测质量块由两端支承的挠性梁支撑，利用梁上8个电阻构成的桥路来检测加速度。这一新型设计，不仅增添了横向加速度补偿功能，而且带宽、灵敏度高。加速度灵敏度为20mV／V F．S．O．，谐振基波频率为3．65kHz，检测质量块重量为4．1mg。