射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

• 作者: 侯廉平 王圩 陈陪峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工设备 陶瓷基板 划片机 光路 设计
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TG665
• 字数: 3422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.01.008

摘要

介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符,系统划片速度可达10 m/min,划缝宽度<0.1 mm,划缝深度>0.3 mm.利用所设计的陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯廉平		2	3	1.0	1.0
2	王圩		3	6	2.0	2.0
3	陈陪峰	华中科技大学激光工程研究院	4	8	2.0	2.0