无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

• 作者: 刘东升 刘新福 孙以材 张艳辉 王静 陈志永
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针技术 薄层电阻 探针游移 等值线图
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 221-226
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 字数: 2395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.019

摘要

研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形100mm样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子技术与材料研究所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子技术与材料研究所	39	354	9.0	17.0
3	刘东升	河北工业大学微电子技术与材料研究所	11	159	4.0	11.0
4	王静	河北工业大学微电子技术与材料研究所	42	144	8.0	11.0
5	陈志永	河北工业大学微电子技术与材料研究所	5	80	4.0	5.0
6	张艳辉	河北工业大学微电子技术与材料研究所	8	48	3.0	6.0