碳氮薄膜的制备及其拉曼光谱研究

• 作者: 冯贤平 唐晓亮 施芸城 闫永辉
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳氮薄膜 弧光放电 拉曼光谱 发射光谱 红外光谱
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 物理实验与应用
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2004.09.006

摘要

使用自行设计的真空系统,采用弧光放电等离子体的方法,成功制备了表面光滑致密的碳氮薄膜.牛顿环干涉图样进一步验证了薄膜厚度的均匀性.拉曼光谱显示了3个主要的散射峰和几个相对较弱的峰,拉曼光谱分析表明,膜的结构是一种无定形非晶碳氮膜,碳原子与氮原子在薄膜中以各种不同的键态存在.通过比较样品不同区域的拉曼光谱图发现,谱图几乎没有变化,说明制备的碳氮薄膜结构是均匀的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐晓亮	东华大学物理系	35	283	10.0	16.0
2	闫永辉	东华大学物理系	10	108	5.0	10.0
3	施芸城	东华大学物理系	21	92	6.0	9.0