基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

• 作者: 巴德纯 王志 蔺增 闻立时
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 不锈钢 射频等离子体增强化学气相沉积 摩擦 磨损
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.01.020

摘要

讨论用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺,在室温下实现在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜.为提高DLC膜的结合力,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜.借助所设计的界面过渡层,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜.通过优化沉积参数,所沉积的DLC膜在与100Cr6钢球对磨时摩擦系数低于0.020.在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	蔺增	东北大学真空与流体工程研究中心	40	160	7.0	9.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	王志	东北大学真空与流体工程研究中心	21	266	9.0	16.0