硅烷的危险特性及安全操作

• 作者: 姚奎鸿 沃银花 王勇
• 来源期刊: 中国安全科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅烷 着火特性 自燃 爆炸 安全操作
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 爆炸安全工程
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: X9
• 字数: 6621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3033.2004.12.012

摘要

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产,潜在应用前景更为广阔.随着硅烷应用领域的扩大,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题.通过对硅烷着火的研究和事故分析表明,硅烷的危险特性在于它与氧反应的极强活性:自燃,着火下限低,燃烧能量大.由于硅烷的自燃特性,对它的安全防范,与一般的易燃易爆物质相比,除一些共同点之外,还有显著的不同之处.在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火.同时还必须防止硅烷泄漏在有限的空间内与氧混合,形成不稳定爆炸性气团.笔者综合分析和研讨了硅烷着火和爆炸的最新进展和成果,在实践经验和分析典型硅烷事故的基础上,提出了处理和使用硅烷的安全操作要点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	浙江理工大学材料工程中心	33	187	9.0	12.0
2	沃银花	浙江大学材料与化工学院	21	155	8.0	11.0
3	姚奎鸿	浙江理工大学材料工程中心	47	201	10.0	12.0