应力对多层薄膜窄带滤光片透射特性的影响

• 作者: 张贵艳 王成 肖孟超 钱龙生 马莹
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 光谱退化 窄带滤光片 薄膜应力
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.11.018

摘要

利用薄膜应力公式和弹性力学的小挠度弯曲理论,分析了多层薄膜应变与薄膜厚度变化的关系,建立起基片曲率与薄膜厚度变化关系的理论模型,提出了多层薄膜各层厚度不均匀变化的关系式.膜厚均匀变化只影响中心波长的漂移,而这种膜厚不均匀变化不仅引起中心波长也引起光谱的退化.在基片由10 mm厚减薄到1.0 mm时,对100GHz的窄带滤光片的模拟结果为中心波长减小0.977nm;0.5dB带宽减小0.19nm.引入膜厚随机误差的模拟结果为中心波长减小1.066nm;纹波增加0.36dB;峰值插损增加0.32dB,光谱进一步退化了.说明了基片曲率变化引起的光学薄膜厚度变化的不均匀性是引起这种窄带干涉滤光片光谱退化的主要原因之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱龙生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	77	1167	19.0	29.0
2	王成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	134	1874	23.0	36.0
3	肖孟超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	74	6.0	8.0
4	马莹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	78	5.0	8.0
5	张贵艳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	7	1.0	1.0