以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究

• 作者: 于永芹 尉吉勇 朱宝富 李宪林 秦晓燕 黄柏标
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 乙醇 MOCVD 温度 光谱
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 201-204
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 1833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.017

摘要

本文探索了以乙醇为氧源通过MOCVD方法生长ZnO薄膜的方法,着重研究了该实验中生长温度对薄膜发光光谱的影响.我们分别在350℃、370℃、380℃、400℃和420℃温度下生长了ZnO薄膜,并对其发光光谱进行了研究.结果表明适当地提高生长温度可以使近带边发光峰蓝移,但温度过高,使得峰位红移并展宽.在380℃的生长条件下得到了较好的光谱.370℃条件下还出现了474nm的发光峰,经退火后此峰消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄柏标	山东大学晶体材料国家重点实验室	47	364	10.0	17.0
2	秦晓燕	山东大学晶体材料国家重点实验室	16	34	3.0	5.0
3	于永芹	山东大学晶体材料国家重点实验室	5	32	2.0	5.0
4	尉吉勇	山东大学晶体材料国家重点实验室	10	29	4.0	5.0
5	朱宝富	山东大学晶体材料国家重点实验室	2	1	1.0	1.0
6	李宪林	山东大学晶体材料国家重点实验室	1	0	0.0	0.0