RF MEMS电感的研究与进展

• 作者: 廖小平 王彦丰 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工电感 邻近效应 趋肤效应
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 354-359,323
• 页数: 7页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 4158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.02.033

摘要

无线通信的迅速发展,对高性能电感有迫切的需要.本文介绍了目前电感的发展状况,包括表面螺旋电感、垂直平面螺旋电感、悬浮螺旋电感和螺线管电感.对各种电感的性能进行了比较,讨论了电感设计所需考虑的问题及相关因素,对各种电感的加工工艺作了介绍.总结了各种电感的品种因数.