用于X射线光刻对准的图像边缘增强技术

• 作者: 叶甜春 王德强 谢常青
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光刻 对准系统 拉普拉斯算法 索贝尔算法
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 426-431
• 页数: 6页
• 分类号: TP319
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.04.014

摘要

提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术,并进行了数值分析.采用先单个再整体的分析方法,通过三种不同的图像边缘增强技术,即索贝尔(SOBEL)算子、拉普拉斯(LAPLAC)算子以及卷积等方法对CCD系统采集的对准标记图像进行处理,得到了每个方法相对应的处理结果,并对于处理结果进行了比较分析.分析比较得出:采用卷积和LAPLAC算子相结合的方法,即先卷积,再利用7个算子的LAPLAC方法进行处理,可以将对准系统的自动对准效率提高约50%,使得自动对准时间由原来的20 min缩短到10 min左右;系统对准精度的方差可由0.10 μm提高至0.08 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	200	911	14.0	18.0
2	王德强	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	28	248	10.0	14.0
3	谢常青	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	50	258	9.0	12.0