波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法

• 作者: 冯伯儒 张锦 郭永康
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉光刻 激光光刻 无掩模 波前分割
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子光学
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.02.003

摘要

激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方法.用自行建立的梯形棱镜波前分割系统进行了多光束干涉曝光实验,得到孔尺寸约220nm的阵列图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭永康	四川大学物理系	87	836	16.0	21.0
2	张锦	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	26	204	8.0	13.0
6	冯伯儒	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	30	293	9.0	16.0