以环形子孔径扫描法测量大口径非球面的研究

• 作者: 伍凡 侯溪 吴时彬 陈强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径非球面 环形子孔径 扫描测量 非球面干涉仪
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造与加工
• 页码范围: 26-28,65
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 2518字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.09.007

摘要

总结非球面常用检验方法在应用中优、缺点的基础上,使用环形子孔径扫描法来测量大口径非球面.这种方法使被测元件相对于参考波前的斜率差减小到干涉仪允许的测量范围内,每次测量仅是被测表面的一部分,通过算法实现数据"拼接",从而得到整个面形信息.该方法无需辅助光学元件即可实现对大口径、大相对口径非球面的直接测量,为大口径高精度非球面的加工检验提供了有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
7	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0