一种新型微机电系统可调光衰减器

• 作者: 吴兴坤 曹钟慧 袁野 邹勇卓 鲍俊峰
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤通信技术 可调光衰减器 微机电系统 电火花加工 密集波分复用
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 光(纤)通信技术
• 页码范围: 364-368
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2004.03.016

摘要

一种新型的低成本、小体积的电磁驱动微机电系统可调光衰减器,可用于密集波分复用系统中各信道的动态增益平衡.该器件采用电磁线圈驱动绕100微轴转动的微反射镜,运动部件行程极小.驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间小于2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB.器件采用微细电火花加工技术制作,加工精度为微米量级,技术成熟,工艺简单,易于批量生产.采用有限元分析软件ANSYS对器件的结构建模,对电磁场及衰减曲线进行了理论分析,并与实测数据进行了比较,得出了相当满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁野	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学光及电磁波研究中心	8	67	5.0	8.0
2	曹钟慧	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学光及电磁波研究中心	6	78	6.0	6.0
3	鲍俊峰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学光及电磁波研究中心	7	85	5.0	7.0
4	邹勇卓	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学光及电磁波研究中心	7	72	6.0	7.0
5	吴兴坤	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江大学光及电磁波研究中心	32	204	9.0	12.0