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大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟
大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟
作者:
吴志强
周旗钢
戴小林
王学锋
王敬
翟立君
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
直拉硅单晶
热场
数值模拟
摘要:
数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具.提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟,通过对300mm单晶炉内热场的数值模拟计算,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布.
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数值模拟
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初始氧浓度
内容分析
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟
来源期刊
稀有金属
学科
工学
关键词
直拉硅单晶
热场
数值模拟
年,卷(期)
2004,(5)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
890-893
页数
4页
分类号
TN304.1
字数
2146字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.0258-7076.2004.05.018
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
周旗钢
35
176
8.0
12.0
2
王敬
16
83
5.0
8.0
3
戴小林
6
49
3.0
6.0
4
吴志强
6
40
3.0
6.0
5
王学锋
4
63
3.0
4.0
6
翟立君
1
26
1.0
1.0
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被引次数趋势
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参考文献(0)
二级参考文献(0)
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2020(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
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节点文献
直拉硅单晶
热场
数值模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属
主办单位:
北京有色金属研究总院
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7076
CN:
11-2111/TF
开本:
大16开
出版地:
北京新街口外大街2号
邮发代号:
82-167
创刊时间:
1977
语种:
chi
出版文献量(篇)
4172
总下载数(次)
13
总被引数(次)
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