钨丝掩模大角度倾斜离子注入850nm垂直腔面发射激光器及其高频调制特性

• 作者: 刘宇 唐君 宋俊峰 杜国同 王海嵩 祝宁华 许成栋 陈弘达
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钨丝掩模 垂直腔面发射激光器 高频特性
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1143-1147
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.09.019

摘要

采用钨丝掩模技术,通过调整制作过程中的工艺参数,研制出批量器件阈值在2mA以内,最低阈值为1.25mA的850nm垂直腔面发射激光器.同时对TO封装的器件进行了高频特性测试,结果表明3dB带宽最高为4.0GHz,在应用于光通信收发模块的商品化同类器件中处于较好的水平,适合中、高速光通信应用.