微加工射频可变电容的研究与进展

• 作者: 廖小平 李锐 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 可变电容 高Q值
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 366-371,276
• 页数: 7页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 4337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.02.035

摘要

我们给出并比较各种最新颖的可变电容,这些电容包括上极板水平移动的可变电容、梳状水平移动的可变电容、平行板上下移动的可变电容、平行板梳状上下移动的可变电容、改变介质的交叠面积的可变电容、使用水平执行器的可变电容、使用绝缘衬底实现的可变电容和使用MEMS开关调节电容阵列来实现的可变电容,比较了目前的可变电容的各种结构以得出目前工艺条件可以较容易实现的高Q值的可变电容.