微装配技术的发展现状及关键技术

• 作者: 李庆祥 李玉和 段瑞玲
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微装配 微夹持器 显微视觉
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 4362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.006

摘要

微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一些关键技术,包括微装配机理、显微视觉技术、微夹持器、微驱动技术等,最后对微装配的发展进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器及机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器及机械学系	59	1638	16.0	40.0
3	段瑞玲	清华大学精密仪器及机械学系	13	1067	10.0	13.0