微波ECR大面积磁场的模拟与设计

• 作者: 杨银堂 高旭东
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电子回旋共振 磁偶极子 电偶极子 磁场强度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.98.2
• 字数: 2486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2004.01.011

摘要

针对ECR大面积磁场的模拟和设计.在了解ECR磁场的构成的基础上,通过模型推理和实测修正得到小磁块的场强分布函数,进而得到叠加磁场的场强分布函数.然后通过编程,用软件实现对ECR大面积磁场的模拟,进一步优化了磁场的设计,证实该磁场可用于实现高质量ECR等离子体源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂	西安电子科技大学微电子研究所	420	2932	23.0	32.0
2	高旭东	西安电子科技大学微电子研究所	1	1	1.0	1.0