三维形貌测量中自动调焦系统的设计

• 作者: 任锐 李志全 童凯
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自动调焦 形貌测量 干涉显微镜 相移
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 图像和信号处理
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 1988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.03.016

摘要

在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度.调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数.实验表明本系统自动调焦范围扩大到±150μm,自动调焦精度为±0.3μm,调焦时间为4-8s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志全		201	1342	17.0	24.0
2	任锐	装甲兵工程学院控制工程系	9	26	3.0	4.0
3	童凯		43	141	7.0	9.0