类金刚石薄膜的应用

• 作者: 何玉定 李敬财 胡社军 黄拿灿
• 来源期刊: 新材料产业
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 气相沉积 工业应用
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 产业透视
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 3236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-892X.2004.03.015

摘要

类金刚石膜(Diamond-like Carbon)简称DLC,是一类性质类似于金刚石如具有高硬度、高电阻率、耐腐蚀、良好的光学性能等,同时其又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳膜.作为功能薄膜和保护薄膜,其广泛应用于机械、电子、光学、医学、航天等领域中.类金刚石膜制备方法比较简单,易实现工业化,具有广泛的应用前景.本文综述了类金刚石薄膜的性质及应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡社军		66	842	14.0	26.0
2	黄拿灿		48	688	14.0	24.0
3	何玉定		28	215	6.0	14.0
4	李敬财		1	58	1.0	1.0