一个DC-32GHz两位微机械移相器

• 作者: 吕苗 娄建忠 杨瑞霞 胡小东 赵正平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 移相器 共面波导驱动结构
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1386-1390
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.11.008

摘要

采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器,并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构(共面波导驱动结构).结果显示驱动电压小于20V,20GHz时两位移相器的相移为0°/20.1°/41.9°/68.2°,插入损耗为-1.2dB.在DC到32GHz的范围内相移具有良好的线性,插入损耗小于-1.8dB,反射损耗好于-11dB.实验结果表明了该结构在高介电常数衬底上制造低插损、宽带数字微机械射频移相器的潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息学院	180	759	13.0	18.0
2	赵正平	河北工业大学信息学院	22	61	5.0	5.0
4	吕苗	河北半导体研究所微米纳米中心	13	61	3.0	7.0
5	娄建忠	河北大学电子信息工程学院	25	64	5.0	6.0
11	胡小东	河北半导体研究所微米纳米中心	2	22	1.0	2.0