GCS法及多晶区量子效应的集约建模

• 作者: 余志平 张大伟 田立林 章浩
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集约模型 纳米级 栅电容修正法 多晶区内的量子力学效应
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1599-1605
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.02
• 字数: 4128字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.12.011

摘要

提出了一种新的建立集约模型的方法,即栅电容修正法.此方法考虑了新型效应对栅电压的依赖关系,且可以对各种效应相对独立地建模并分别嵌入模型中.另外,利用该方法和密度梯度模型建立了一个多晶区内量子效应的集约模型.该模型与数值模拟结果吻合.模型结果和模拟结果均表明,多晶区内的量子效应不可忽略,且它对器件特性的影响与多晶耗尽效应相反.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	清华大学微电子学研究所	19	414	9.0	19.0
2	章浩	清华大学电子工程系	7	10	2.0	2.0
3	余志平	清华大学微电子学研究所	45	158	7.0	10.0
4	田立林	清华大学微电子学研究所	31	116	6.0	8.0