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摘要:
以扫描探针显微理论为基础,讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法,介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术,并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析.所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义.
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文献信息
篇名 基于光探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法
来源期刊 光子学报 学科 工学
关键词 光探针 自聚焦透镜 光斑测量
年,卷(期) 2004,(2) 所属期刊栏目 其它
研究方向 页码范围 244-247
页数 4页 分类号 TH74
字数 1903字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李明 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 251 3222 29.0 47.0
2 王克逸 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 81 512 13.0 18.0
3 糜长稳 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 2 23 1.0 2.0
4 章荣平 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 1 22 1.0 1.0
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光探针
自聚焦透镜
光斑测量
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光子学报
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1004-4213
61-1235/O4
大16开
西安市长安区新型工业园信息大道17号47分箱
52-105
1972
chi
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