低损耗高Q值声表面波谐振器

• 作者: 周卫
• 来源期刊: 电讯技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 器件谐振器 品质因素(Q值) 损耗
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 1484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-893X.2004.05.030

摘要

介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果.其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5 000以上,无载Q值可达20 000以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周卫	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	2	1.0	1.0