金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素

• 作者: 刘世良 彭冬生 谢长生 赵立峰
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金属有机物 羰基镍 镍膜
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 理论探讨
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TG146.1+5
• 字数: 3373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2004.06.002

摘要

为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢长生	华中科技大学材料学院	348	4405	33.0	51.0
2	彭冬生	华中科技大学材料学院	3	15	3.0	3.0
3	赵立峰	华中科技大学材料学院	4	20	3.0	4.0
4	刘世良	华中科技大学材料学院	2	11	2.0	2.0