用于铜互连技术的前瞻性生产系统--Atotech(安美特)公司的Everplate生产系统

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刘乃东王中文

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篇名	用于铜互连技术的前瞻性生产系统--Atotech(安美特)公司的Everplate生产系统
来源期刊	集成电路应用	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2004,（9）	所属期刊栏目	生产工艺
研究方向		页码范围	40-41
页数	2页	分类号	TN4
字数	1784字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1674-2583.2004.09.012