高精度激光板凸度检测技术

• 作者: 周俊峰 谭建平
• 来源期刊: 有色设备
• 学科: 工学
• 关键词: 板凸度 检测 激光三角法 高精度
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 自动控制
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TH71
• 字数: 2647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8884.2004.z1.016

摘要

板厚度、板凸度是衡量板材质量的重要指标,激光板凸度检测系统的核心技术是基于差动激光三角法的扫描式高精度厚度检测系统.本文介绍该系统的组成和功能,着重分析该系统设计过程中的关键技术.通过实际应用表明,本系统的检测精度达到±1 um.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭建平		250	1509	17.0	22.0
2	周俊峰		22	156	8.0	12.0