短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

• 作者: 任韧 宋宙模 徐进 朱世华 王永仓 袁孝 金克新 陈长乐
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: XeCl准分子激光 纳秒放电 脉冲激光沉积技术 辉光放电
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 434-437,448
• 页数: 5页
• 分类号: TN242
• 字数: 4780字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.04.022

摘要

以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现.采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度.结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad.动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱世华	西安交通大学信息与通信系	119	758	14.0	19.0
2	金克新	西北工业大学应用物理系	60	201	7.0	11.0
3	陈长乐	西北工业大学应用物理系	144	734	13.0	20.0
4	王永仓	西北工业大学应用物理系	19	171	4.0	12.0
5	任韧	西安交通大学物理系	5	32	3.0	5.0
9	徐进	西安交通大学生物医学工程所	19	178	9.0	13.0
10	袁孝	西北工业大学应用物理系	4	11	3.0	3.0