用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度

• 作者: 叶长青 吴建生 周健威 姜传海
• 来源期刊: 无损检测
• 学科: 工学
• 关键词: 射线检验 薄膜材料 X射线衍射 厚度测量
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.28
• 字数: 1871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6656.2004.02.007

摘要

基于X射线衍射与吸收理论,提出一种薄膜厚度测量方法即膜下基体衍射法.利用X射线应力仪测量高速钢表面的TiN薄膜厚度,发现利用膜下基体衍射可精确测量薄膜厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴建生	上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室	141	1402	19.0	30.0
2	姜传海	上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室	46	243	9.0	13.0
3	周健威	上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室	4	38	3.0	4.0
4	叶长青	上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室	4	38	3.0	4.0