有双包层结构的楔变脊型光斑转换器的设计

• 作者: 余金中 刘忠立 夏金松 杨笛 陈少武
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光斑转换器 脊型楔变波导 耦合损耗
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 913-917
• 页数: 5页
• 分类号: TN432
• 字数: 710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.08.006

摘要

为了提高硅基上单模波导器件与单模光纤的耦合效率和工艺容差,设计了一种实用新型光斑转换器,它由水平和垂直双向楔变的波导芯区和双内包层构成.分析了内包层折射率与其厚度对耦合效率的影响,发现通过优化内包层的参数可以加强对扩展光场的限制.针对在硅基上制作垂直楔变结构的波导还很困难的情况,提出了一种低成本、简单可行的制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠立	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	77	412	12.0	14.0
2	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
3	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	39	387	9.0	19.0
4	夏金松	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	12	71	5.0	8.0
5	杨笛	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	3	20	2.0	3.0