新型大量程LTP控制系统及数据处理系统

• 作者: 夏绍建 徐洪杰 杜国浩 温利 肖体乔
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 面阵CCD 线性导轨 位相板 质心法 衍射图像
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 新一代同步辐射技术及应用
• 页码范围: 511-514
• 页数: 4页
• 分类号: TP273+.5
• 字数: 2849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2004.07.008

摘要

讨论了最近研制成功的新型大量程长程面形仪(LTP)中精密线性导轨扫描、定向移动以及高精度任意步长等运动的控制;采用面阵CCD获取准直激光束通过位相板形成的衍射图像、经采集卡数字化,由计算机完成数据处理.数据处理中实现了MATLAB与VC++程序间的通信,采用质心法分离测量光斑以及参考光斑,并利用MATLAB中神经网络算法求取位相板衍射图像中暗线位置,达到了设计要求的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖体乔	中国科学院上海应用物理研究所	64	403	11.0	17.0
2	徐洪杰	中国科学院上海应用物理研究所	56	438	10.0	19.0
3	夏绍建	中国科学院上海应用物理研究所	21	78	6.0	6.0
4	杜国浩	中国科学院上海应用物理研究所	32	236	8.0	15.0
5	温利	中国科学院上海应用物理研究所	9	134	4.0	9.0