电吸收调制器和DFB激光器一种改进的双有源层堆积集成方法

• 作者: 朱洪亮 李宝霞 王圩 王宝军 王鲁峰 胡小华 赵玲娟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多量子阱 电吸收调制器 分布反馈激光器 单片集成
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 481-485
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.05.001

摘要

提出了一种改进型的双有源层堆积方法制作单片集成电吸收调制的DFB激光器,报道了器件的制作过程和主要性能,初步结果为:阈值电流38mA,激光器在100mA下出光功率4.5mW左右,调制器消光比约9dB(从+0.5V到-3.0V).对比此前国外报道的具有常规双量子阱堆层结构的器件结果(出光功率仅1.5mW),我们制作的器件的出光功率有了明显的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝霞	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	14	116	5.0	10.0
2	朱洪亮	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	32	94	6.0	7.0
3	王鲁峰	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	12	85	5.0	9.0
4	王宝军	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	27	315	8.0	17.0
5	赵玲娟	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	27	84	5.0	7.0
6	胡小华	中国科学院半导体研究所光电子工艺中心	6	14	2.0	3.0