单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展

• 作者: 周再发 孙岳明 王涓 黄庆安
• 来源期刊: 化工时刊
• 关键词: 硅 各向异性 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 化工纵横
• 页码范围: 1-4,24
• 页数: 5页
• 字数: 4250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-154X.2004.06.001

摘要

介绍了硅各向异性腐蚀的含义、特点、用途以及常用的腐蚀剂等基本要素;着重论述了试图解释硅各向异性腐蚀行为的几种典型机理,并在此基础上对各腐蚀机理做了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙岳明	东南大学化学化工系	117	1074	17.0	25.0
2	王涓	东南大学化学化工系	5	71	2.0	5.0