陶瓷单晶(100)基底上外延生长Pt薄膜

• 作者: 张丽 赵昆 黄康权
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Pt 薄膜 溅射 X射线衍射 原子力显微镜 庞磁电阻
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 690-693
• 页数: 4页
• 分类号: O448
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.047

摘要

用对靶溅射技术在MgAl2O4 (100) (MAO) 和SrTiO3 (100) (STO)单晶基底上制备Pt薄膜.基底温度为700℃时,Pt薄膜外延生长为(200)取向,Pt/STO 薄膜的电阻率很低,而Pt/MAO 薄膜表现出高电阻特征.此外,Pt (50nm)/La0.67Ca0.33MnO3 (50nm)/STO的制备和研究表明,在包括庞磁电阻材料的器件设计中,Pt是一种较好的电极材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丽	聊城大学物理科学与信息工程学院磁电子学实验室	48	278	6.0	16.0
2	赵昆	聊城大学物理科学与信息工程学院磁电子学实验室	9	40	3.0	6.0
4	黄康权	香港中文大学物理系	8	22	3.0	4.0