新型悬空结构射频微电感的制作与测试

• 作者: 周勇 王西宁 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微电感 悬空结构 射频
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TM55
• 字数: 1186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.01.017

摘要

利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System:微机电系统)工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容,且其高频性能较好.并对此结构微电感的性能进行了测试,测试频率范围在0.05～10 GHz之间,结果表明:当悬空结构微电感的悬空高度为20 μm,工作频率在3～5 GHz范围内时,其电感量达到4 nH,其Q值最大可达到22.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	35	473	12.0	21.0
2	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	49	769	15.0	26.0
3	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	56	549	13.0	20.0
4	王西宁	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	4	36	4.0	4.0