高分辨X射线衍射法研究碳化硅单晶片中的多型结构

• 作者: 徐现刚 李现祥 王继扬 胡小波 董捷 韩荣江
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳化硅 多型 高分辨X射线衍射仪 摇摆曲线
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 918-921
• 页数: 4页
• 分类号: O722
• 字数: 1509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.009

摘要

我们采用高分辨X射线衍射法对SiC单晶片中的多型结构进行了研究,研究发现在以4H-SiC为籽晶的晶体生长过程中,4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC出现两相共存或三相共存现象.在单相、两相或三相共存区,X射线摇摆曲线具有明显不同的特征.根据多型结构,可以对摇摆曲线中的衍射峰进行鉴定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王继扬	山东大学晶体材料国家重点实验室	200	1444	21.0	30.0
2	胡小波	山东大学晶体材料国家重点实验室	67	321	9.0	14.0
3	徐现刚	山东大学晶体材料国家重点实验室	77	407	10.0	16.0
4	韩荣江	山东大学晶体材料国家重点实验室	7	62	4.0	7.0
5	李现祥	山东大学晶体材料国家重点实验室	5	70	4.0	5.0
6	董捷	山东大学晶体材料国家重点实验室	4	63	3.0	4.0