静电执行的MEMS多层膜材料参数在线提取方法

• 作者: 戎华 李伟华 王建华 聂萌 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 两端固支梁 吸合 材料参数提取 模拟
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1537-1543
• 页数: 7页
• 分类号: TN401
• 字数: 3647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.11.036

摘要

基于静电执行结构,结合能量法,推导出不等宽多层两端固支梁在静电作用下发生吸合(pull-in)现象时吸合电压的解析表达式,并用数值方法进行了拟合修正,用Coventorware软件进行的模拟表明所得拟合表达式具有较高的精度.由于吸合电压与梁的材料参数和几何尺寸有关,通过改变梁的几何尺寸可以得到不同的吸合电压值,从而得到梁各层材料的参数,即多层膜各层的材料参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建华	合肥工业大学理学院	12	110	6.0	10.0