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基于真空镀膜技术的薄膜热传感器实验
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瞬态响应
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TaN薄膜电阻的功率加载特性研究
TaN
薄膜电阻
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功率加载
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温度
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热敏电阻元件
低温校准
校准方法
数据拟合
利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究
方形四探针
硅基片
薄膜电阻
测试技术
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 TaN微波薄膜技术改善电阻元件
来源期刊 今日电子 学科
关键词
年,卷(期) 2004,(1) 所属期刊栏目 技术前沿
研究方向 页码范围 3-3
页数 1页 分类号
字数 301字 语种 中文
DOI
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今日电子
月刊
1004-9606
11-3227/TM
大16开
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82-518
1993
chi
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