各向异性材料光学常数全自动椭偏测仪

• 作者: 唐宁 姚熹 李洋
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性材料 椭偏测试 集成化软件
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.2
• 字数: 4489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2004.01.025

摘要

本文介绍了一套将光度式旋转检偏器椭偏(RAE)系统同改变环境媒质、改变样品方位角、改变入射角相结合的全部测试过程由计算机控制的椭偏测试系统VMAE.它是通过改变环境媒质、光入射角以及自动改变样品方位角等方法测量多组椭偏参数,得到足够的独立方程,并通过计算机采用三种优化(Powell,单纯形,转轴法)方法求解多峰值超越方程组以研究光轴垂直、平行于表面的各向异性体、膜材料光学性能.并研制了一套除适用上述方法外还可兼容多波长法、多厚度法等方法的功能全面的模块集成化软件.最后通过比较实验结果与理论值的方法对系统的可靠性进行了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹		172	1611	18.0	30.0
2	李洋		5	17	3.0	4.0
3	唐宁		4	16	3.0	4.0