MgxZn1-xO单晶薄膜和MgZnO/ZnO异质结构的光学性质

• 作者: 刘益春 吕有明 吴春霞 张吉英 张振中 李炳辉 申德振 范希武
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体辅助分子束外延 MgxZn1-xO合金 MgZnO/ZnO异质结构 光致发光谱 反射式高能电子衍射
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1258-1263
• 页数: 6页
• 分类号: O782.9
• 字数: 3502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.10.012

摘要

报道了利用等离子辅助分子束外延技术,在蓝宝石c平面上外延生长的MgxZn1-xO单晶薄膜以及MgZnO/ZnO异质结构的光学性质.室温下随着Mg浓度增加,合金薄膜样品的发光峰与吸收边均向高能侧移动.研究了样品紫外发光的起因,将MgxZn1-xO合金薄膜的发光归结为束缚激子的复合.在Mg0.08Zn0.92O/ZnO样品中,观察到了分别来自于ZnO层和MgZnO盖层的发光和吸收,并将其归因于来自ZnO层的自由激子和MgZnO盖层的束缚激子发射.